壓電亞(ya) 納米/納米平移台（壓電直推型，0-1500μm行程）大行程納米平移台（壓電馬達型，10-150mm行程）ALIO高負載電動線性/二維位移台-高精度納米級電動垂直運動平台-ALIO高精度納米級高負載ALIO高精度六軸位移台/六足位移台Hybrid Hexapod美國ASI国产黄色在线观看高精度顯微鏡載物台/位移台ALIO定製化控製運動位移台高精度壓電馬達夾爪空氣軸承係統——ALIO納米級高精度運動係統GriPhi高精度微型電動夾爪
XLS係列線性位移平台，是由超聲波壓電馬達驅動，可提供不同行程的精確定位。由於(yu) 采用超聲波壓電馬達驅動，速度可達到200mm/s，並且該平台適用於(yu) 掃描，可提供恒定的掃描速度，速度不穩定性低於(yu) 2%。
該平台采用超聲波馬達，對於(yu) 這種馬達平台的運動是通過接觸點的橢圓振蕩產(chan) 生。如下圖所示。通過橢圓的振蕩推動平台產(chan) 生微小移動，並通過高頻率產(chan) 生極高的速度，並且沒有噪聲，電機在定位後可產(chan) 生自鎖，由於(yu) 馬達在橢圓振蕩的上端才會(hui) 與(yu) 平台接觸，大大提高平台的使用壽命通常在10-100km。
XLS係列平台可提供不同的行程，行程範圍可達到92mm。為(wei) 了適應不同精度要求的国产成人在线观看免费网站，平台集成不同精度的位置傳(chuan) 感器，根據閉環係統中傳(chuan) 感器的精度可分為(wei) 以下幾類線性平台
1）集成-1250位置傳(chuan) 感器的壓電馬達平台-min setp1250nm，
XLS-1-40 | XLS-1-50 | XLS-1-60 | XLS-1-70 | XLS-1-80 | XLS-1-100 | XLS-1-120 | Unit | |
travel range | 27 | 32 | 37 | 42 | 50 | 72 | 92 | mm |
resolution | 1250 | nm | ||||||
unidirectional repeatability | ±1250 | nm | ||||||
bidirectional repeatability | ±2500 | nm | ||||||
load capacity | 0.5 | kg | ||||||
holding force | 1 | N | ||||||
driving force | 1 | N | ||||||
max. speed | 200 | mm/s | ||||||
min. speed | 2 to 5 | mm/s | ||||||
cable length | 1.5 | m | ||||||
2）集成-312位置傳(chuan) 感器的壓電馬達平台-min setp350nm
XLS-1-40 | XLS-1-50 | XLS-1-60 | XLS-1-70 | XLS-1-80 | XLS-1-100 | XLS-1-120 | Unit | |
travel range | 27 | 32 | 37 | 42 | 50 | 72 | 92 | mm |
resolution | 350 | nm | ||||||
unidirectional repeatability | ±350 | nm | ||||||
bidirectional repeatability | ±700 | nm | ||||||
load capacity | 0.5 | kg | ||||||
holding force | 1 | N | ||||||
driving force | 1 | N | ||||||
max. speed | 200 | mm/s | ||||||
min. speed | 2 to 5 | mm/s | ||||||
cable length | 1.5 | m | ||||||
3) 集成-78位置傳(chuan) 感器的壓電馬達平台-min setp80nm
XLS-1-40 | XLS-1-50 | XLS-1-60 | XLS-1-70 | XLS-1-80 | XLS-1-100 | XLS-1-120 | Unit | |
travel range | 27 | 32 | 37 | 42 | 50 | 72 | 92 | mm |
resolution | 80 | nm | ||||||
unidirectional repeatability | ±80 | nm | ||||||
bidirectional repeatability | ±160 | nm | ||||||
load capacity | 0.5 | kg | ||||||
holding force | 1 | N | ||||||
driving force | 1 | N | ||||||
max. speed | 200 | mm/s | ||||||
min. speed | 2 to 5 | mm/s | ||||||
cable length | 1.5 | m | ||||||
4) 集成-1位置傳(chuan) 感器的壓電馬達平台-min setp25nm
XLS-1-40 | XLS-1-50 | XLS-1-60 | XLS-1-70 | XLS-1-80 | XLS-1-100 | XLS-1-120 | Unit | |
travel range | 27 | 32 | 37 | 42 | 50 | 72 | 92 | mm |
resolution | 25 | nm | ||||||
unidirectional repeatability | ±25 | nm | ||||||
bidirectional repeatability | ±50 | nm | ||||||
load capacity | 0.5 | kg | ||||||
holding force | 1 | N | ||||||
driving force | 1 | N | ||||||
max. speed | 200 | mm/s | ||||||
min. speed | 2 to 5 | mm/s | ||||||
cable length | 1.5 | m | ||||||
此外，由於(yu) 該平台采用模塊化設計，可以組成多維位移平台，例如：XY;XYZ,XYQ等。並且可以提供真空兼容和非磁位移平台。
主要特點：
l 大行程 （100mm）
l 高精度（25nm）
l 高速度（100mm/s）
l 支持斷電自鎖
l 可在真空和非磁環境
主要国产成人在线观看免费网站：
l 光電子學
l 掃描電子顯微鏡
l 半導體(ti) 生產(chan)
l 醫學和材料科學
l 生命科學與(yu) 生物技術學
l 顯微鏡和計量學
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