偏振光波通過介質時與(yu) 介質發生相互作用,這種相互作用將改變光波的偏振態,測出這種偏振態的變化,進而進行分析擬合,得出我們(men) 想要的信息。
橢偏儀(yi) （五）-橢偏儀(yi) 數據處理模型-第1部分
采用光學方法可以對許多固體(ti) 材料的宏觀和微觀物理性質進行深入研究,其中比較直接的方法就是測量材料的光學常數隨光子能量或波長的變化關(guan) 係,從(cong) 而與(yu) 微觀機理相聯係,來認識和理解光與(yu) 物質相互作用的本質.橢偏光譜不直接測算光強,而是從(cong) 相位空間尋找材料的光學信息.橢圓偏振測量法由於(yu) 其測量精度高、非破壞性而被廣泛国产成人在线观看免费网站於(yu) 薄膜的各種特性的測量。
偏振光波通過介質時與(yu) 介質發生相互作用,這種相互作用將改變光波的偏振態,測出這種偏振態的變化,進而進行分析擬合,得出我們(men) 想要的信息。用薄膜的橢圓函數ρ表示薄膜反射線形成橢圓偏振光的特性,即
式中：tanψ表示反射光的兩(liang) 個(ge) 偏振分量的振幅係數之比,ψ稱偏振角；rp表示反射光在Ｐ平麵的偏振分量；rs表示反射光在Ｓ平麵的偏振分量。
橢偏儀(yi) 數據處理模型的建立是至關(guan) 重要的一步,如果不能建立一個(ge) 與(yu) 參數匹配良好的模型,前麵的測試就毫無意義(yi) ,甚至如果建立一個(ge) 錯誤的模型,其結果將與(yu) 真實值南轅北轍,誤導我們(men) 的實驗。下麵列出幾種材料的物理模型：
1.NK模型 它用於(yu) 已知組分的同類多層膜；
2.柯西模型 它適用於(yu) 透明材料,如 Al2O3、SiO2、MgF2、SiN4、TiO2、ITO、KCl等。我們(men) 用Cauchy公式表達材料在透明波段的光學常數具有較高的精確度：
其中Aj為(wei) 經驗參數；
3.柯西指數模型 它與(yu) 柯西模型不同的是吸收係數隨頻率指數變化,它適用於(yu) 堿鹵化物,堿土金屬的氟化物、氧化物和半導體(ti) (可見光和紅外波段的Si,GaAs)等；
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