偏振光波通過介質時與(yu) 介質發生相互作用,這種相互作用將改變光波的偏振態,測出這種偏振態的變化,進而進行分析擬合,得出我們(men) 想要的信息。
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橢偏儀(yi) (六)-橢偏儀(yi) 數據處理模型-第二部分
繼續介紹我們(men) 上次的建模:
4.Selmeier模型 非常適用於(yu) 透明材料和吸收材料,如 Al2O3、SiO2、MgF2、SiN4、TiO2、ITO、KCl等,處於(yu) 紅外波段的Ge、Si,GaAs;材料在透明波段的光學常數具有較高的精確度。對於(yu) 電子躍遷,當光波能量遠高於(yu) 帶隙時,同時考慮電子和晶格的貢獻:
這就是Selmeier色散公 式,實際国产成人在线观看免费网站中用波長代替能量作為(wei) 參量:
5.EMA(有效介質)模型 有效介質模型国产成人在线观看免费网站於(yu) 兩(liang) 種或兩(liang) 種以上的不同組份合成的混合介質體(ti) 係,多達 5種不同材料組成的混合材料、多晶膜、金屬膜、表麵粗糙的膜、多孔膜、不同材料或合金的分界麵、不完全起反應的混合材(TiSi、WSi)、無定形材料和玻璃;其基本思想是將混合介質當作一種在特定的光譜範圍內(nei) 具有單一有效介電常量張量的“有效介質”,是把均勻薄膜的微觀結構與(yu) 其宏觀介電常數相聯係.它包含3種有效介質模型:
5.1 lorentz-Lorenz有效介質模型 zui簡單的異構介質是介電函數分別為(wei) εa和 εb的兩(liang) 種介質隨機地混合在一起,其有效介電函數可以用如下式子估算:
式中fa,fb為(wei) 介質的份額,fa+fb=1。
5.2 Maxwell-Garnett效介質模型 上一模型假設主介質為(wei) 真空,即ε=1。更一般的情況是主介質的介電函數是εh,次要介質分散於(yu) 主介質中,當εh=εa時,有效介質函數ε為(wei)
5.3 Bruggeman有效介質模型 如果不同成分混雜在一起,不能區分誰是主介質,這時采用Bruggeman有效介質模型:
fj為(wei) 第j種介質所占的體(ti) 積份額,且∑fj =1。在擬合實驗數據時,有時會(hui) 出現fj<0或fj>1,這時顯然有效介質近似是不合適的,或物質的組成模型與(yu) 實際不符。有效介質模型通常用於(yu) 薄膜的粗糙表麵和過渡層的分析.
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