偏振光波通過介質時與(yu) 介質發生相互作用,這種相互作用將改變光波的偏振態,測出這種偏振態的變化,進而進行分析擬合,得出我們(men) 想要的信息。
橢偏儀(yi) （八）-橢偏儀(yi) 測量薄膜的優(you) 點和特點
測量薄膜其實並非僅(jin) 僅(jin) 隻有使用橢偏儀(yi) 來測量，但為(wei) 何我們(men) 光學人更加偏愛使用橢偏儀(yi) 來測量薄膜厚度呢？在這裏那就不得不說說我們(men) 使用橢偏儀(yi) 測量薄膜的優(you) 點和特點了：
(1) 測量的對象廣泛,可以測量透明膜,無膜固體(ti) 樣品,多層膜,吸收膜和眾(zhong) 多性能不同、厚度不同、吸收程度不同的薄膜,甚至是強吸收的薄膜。
(2) 被測量的薄膜大小尺寸可以很小,隻要 1ｍｍ即可測量,小於(yu) 光斑的大小
(3) 方式靈活,既可以測量反射膜,也可以測量透射膜。
(4) 測量的速度很快。
(5) 在各種粒子束分析測試技術中,光束引起的表麵損傷(shang) 以及導致的表麵結構改變是zui小的。
(6) 在橢偏光譜中,被測對象的結構信息(電子的、幾何的)是蘊含在反射(或透射)出來的偏振光束中,通過光束本身與(yu) 物質相互作用前後產(chan) 生的偏振狀態(振幅、相位)的改變反映出來。
(7) 測量精度高。橢偏光譜的工作原理雖然建立在經典電磁波理論上,但實際上它有原子層級的靈敏度。對薄膜的測量準確度可以達到1nm,相當於(yu) 單原子層的厚度。
(8) 非苛刻性測量。樣品可以是塊體(ti) 材料與(yu) 薄膜,由於(yu) 它可測得物質在一個(ge) 波長範圍內(nei) 介電函數的實部和虛部,信息量較多,可對固體(ti) 樣品作精細分析。
能同時分別測量出幾個(ge) 物理量。橢偏光譜可直接得到光學常數的實部和虛部,不需要Ｋ-Ｋ關(guan) 係.
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