大角度閉環微型振鏡快速反射鏡/快速傾(qing) 斜鏡MEMS掃描鏡激光光束指向穩定係統激光束自動準直穩定係統MEMS掃描鏡開發套件智能多邊形掃描儀(yi) （多麵轉鏡）一維/二維無串擾大負載壓電快速偏擺台
快速反射鏡/快速傾(qing) 斜鏡
微步進電機與(yu) PZT壓電陶瓷驅動的超大掃描角度的複合軸快速反射鏡。
此快速反射鏡是采用微步進電機與(yu) PZT壓電陶瓷相結合的複合驅動結構，不僅(jin) 擁有電機驅動的大量程的特點，又集成了PZT壓電陶瓷驅動的高速高分辨率的特點，極大拓展了快速反射鏡的適用範圍與(yu) 使用壽命。
快速反射鏡
此快速反射鏡是采用微步進電機與(yu) PZT壓電陶瓷相結合的複合驅動結構，不僅(jin) 擁有電機驅動的大量程的特點，又集成了PZT壓電陶瓷驅動的高速高分辨率的特點，極大拓展了快速反射鏡的適用範圍與(yu) 使用壽命。
国产欧美在线特點：
Ø 反饋精度: < 1 μm, < 1 μrad (zui低可達 10-100 nm)
Ø 超大掃描範圍: > 18°
Ø 高速度:伺服頻寬超過5 kHz
Ø PZT驅動製動器和機械裝置多種組合
Ø 全計算機控製 (USB, 串口, 局域網) ，完全獨立操作
快速反射鏡類別：
Aligna 60/40:微步進電機快速反射鏡基座60x60 mm/40x40 mm
Ø 兩(liang) 個(ge) 極微等步細分線製動器
Ø 手動調節滾花旋鈕
Ø 雙軸引用光編碼器
Ø 多種反射鏡或其他組件安裝方式
(1", 1/2", 2", 和其他任意厚度)
Aligna MoPiA 60/40:微步進電機+PZT驅動快速反射鏡基座60x60 mm/40x40 mm
Ø 兩(liang) 個(ge) 極微等步細分線製動器
Ø 手動調節滾花旋鈕
Ø PZT壓電掃描器
Ø 雙軸引用光編碼器
Ø 多種反射鏡或其他組件安裝方式
(1", 1/2", 2", 和其他任意厚度)
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