昊量光電推出一種測量介觀顯微物鏡的檢測方案，它使用D7點衍射激光幹涉儀(yi) 檢測，這種方案具備以下優(you) 點：1.無需參考鏡；2.可在全光譜範圍VIS + NIR下進行；3.可選擇不同的工作波長範圍；4.擁有廣泛的參數測量包括全視場(FOV)波前，以及所有類型的像差5.可以測量調製傳(chuan) 遞函數(MTF)以及光學傳(chuan) 遞函數(OTF)；6.兼容光學設計軟件(ODS)的Zemax, CODE V, Oslo或其他可用於(yu) 糾正物鏡的像差軟件；7.口徑兼容性強，孔徑較大(NA=0.9)和視場較小(0.1 mm)的物鏡都可以使用。
D7點衍射激光幹涉儀(yi) 用於(yu) 測量介觀顯微物鏡的檢測方案
介觀物鏡，因其具有複雜的光學結構和出色的像差優(you) 化，可以實現高NA和超大成像 FOV，顯著提高光學顯微鏡成像通量的特點而被人們(men) 熟知。
介觀顯微物鏡可用於(yu) 廣域成像係統、激光共焦掃描成像係統和雙光子成像等係統，具有重要的研究意義(yi) 。
本文介紹了一種用D7點衍射激光幹涉儀(yi) 測量介觀顯微物鏡的檢測方案，
具體(ti) 方案如下圖所示：
1.光源部分
1. D7係統的光源為(wei) 連續波(CW)單模(SLM)激光器：具有不同波長的相幹性，覆蓋了激光器的工作光譜範圍包括:480 nm, 532 nm, 633 nm, 830 nm, 1030 nm。
2. 激光器是光纖耦合的，可以通過光纖插入到D7主機插座上選擇單元。
3. 所有的激光器都是永久插入，光源選擇可以從(cong) 一種波長切換到另一種波長。可選波長範圍為(wei) VIS和NIR範圍，或為(wei) 每個(ge) 波長。
2.測試參數及準確性部分
1. 測試參數包括波前通過視場，通過光譜範圍(從(cong) 可見光到近紅外)，孔徑像差-球麵像差，彗差，像散;場像差-失真，場曲率;色差-波前色差，橫向和軸向色差等。
2. 通過物鏡、針孔單元和D7幹涉儀(yi) 的精確線性運動來測試視場。
3. 檢測精度如下表所示：
3.畸變校正
1. DifroMetric軟件導出/導入數據傳(chuan) 輸為(wei) 標準光學設計軟件(ODS)。
2. 物鏡的測量像差可用澤尼克條紋係數表示。
3. 實測像差係數CFZM可與(yu) 設計係數CFZD進行數據比較，DifroMetric和光學設計軟件之間可交互作用。
4. 比較的結果有助於(yu) 選擇參數包括-氣隙，或其他參數，這對於(yu) 在裝配過程中對待測件位置的調整有重要作用。
4.D7係統的優(you) 點
1. 測試介觀物鏡不需要參考鏡。
2. 測試介觀物鏡可在全光譜範圍VIS + NIR下進行。
3. D7可以選擇不同的工作波長範圍。
4. D7係統可以提供廣泛的參數測量包括全視場(FOV)波前以及所有類型的像差:孔徑像差，視場像差，還有色差等。
5. D7係統與(yu) DifroMetric軟件可以測量調製傳(chuan) 遞函數(MTF)以及光學傳(chuan) 遞函數(OTF)。
6. DifroMetric軟件的導出/導入數據傳(chuan) 輸兼容一種標準的光學設計軟件(ODS)的Zemax, CODE V, Oslo或其他可用於(yu) 糾正物鏡像差的軟件。
7. 對待測件口徑兼容性強，孔徑較大(NA=0.9)和視場較小(0.1 mm)的物鏡都可以使用。
5.結論
1. D7係統可以綜合表征性能:a)在工作光譜範圍內(nei) 的介觀物鏡的性能參數b)提出改進建議並模擬未來樣品在成像係統的性能參數。
2. 對介觀物鏡的測量精度超過物鏡本身的精度水平，並覆蓋其整個(ge) 視場。測試精度比參數值高5 - 10倍。
3. 使用D7係統可以保證客觀分析的完整，從(cong) 而證明其完善性成像特性。
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