可調諧垂直腔麵發射激光器（VCSELs）在長程可重構波分複用無源光網絡（WDM-PON）係統中是非常需要的。作為(wei) 一種無色光源，VCSEL可廣泛調諧，可用於(yu) 備用、熱備份和固定波長激光更換等国产成人在线观看免费网站，以減少庫存。本文主要介紹了大於(yu) 50 nm連續調諧表麵微加工BCB MEMS VCSEL的7Ghz小信號調製響應
大於(yu) 50 nm連續調諧表麵微加工BCB MEMS vcsel的7Ghz小信號調製響應
可調諧垂直腔麵發射激光器（VCSELs）在長程可重構波分複用無源光網絡（WDM-PON）係統中是非常需要的。作為(wei) 一種無色光源，VCSEL可廣泛調諧，可用於(yu) 備用、熱備份和固定波長激光更換等国产成人在线观看免费网站，以減少庫存。在上一代微機電係統（MEMS） VCSELs中，已經實現了102納米的連續調諧。高對比度光柵（HCG） VCSEL的小信號調製（S21）帶寬僅(jin) 為(wei) 7.8 GHz，僅(jin) 為(wei) 1550 nm。在這項工作中，通過表麵微加工將MEMS分布式布拉格反射器（DBR）集成到1550 nm的苯並環丁S21烯（BCB）封裝的有源VCSEL結構中。基於(yu) InP的半VCSELs通過降低RC寄生而專(zhuan) 門設計用於(yu) 高速国产成人在线观看免费网站。為(wei) 了從(cong) 本質上減少電容寄生，半導體(ti) 被低K材料BCB取代。利用外部加熱電流電熱驅動MEMS DBR實現寬調諧。DBR由11.5層對介電材料 SiNX/ SiOy在低溫等離子體(ti) 增強化學氣相沉積（PECVD）室中沉積而成。
圖1 (a) 1555 nm波長MEMS VCSEL在不同激光電流下的小信號調製響應
(b) 1555 nm發射波長下共振頻率fR與(yu) 
的D因子擬合
(c)繪製了不同調諧波長下3db的Max帶寬
所有測量均在20°C下進行
VCSEL可以在1524nm ~ 1584 nm （60 nm）範圍內(nei) 連續調諧，中心波長為(wei) 1554 nm。1555 nm發射的MEMS VCSEL的小信號調製響應如圖1(a)所示。在1555 nm處，VCSEL的閾值電流
為(wei) 6 mA，在32 mA時發生熱滾轉，對應的Max輸出功率為(wei) 1.42 mW。在4.9*
偏置電流下獲得7.05 GHz的3dB帶寬。器件的D因子為(wei) 1.6GHz/mA1/2，Max諧振頻率fR,max為(wei) 5.81 GHz，如圖1 (b)所示。線性擬合曲線的彎曲是由於(yu) 19 mA偏置電流I時發生的熱阻尼效應，相對較小的D因子可能是由於(yu) 內(nei) 置氣隙導致的腔長較大，以及對MEMS DBR的高穿透深度和大電流孔徑。為(wei) 了進一步提高S21響應的3dB帶寬，需要更大的D因子。它可以通過更短的腔長設計和降低閾值電流來改善。在圖1(c)中繪製了不同調諧波長下的3dBMax帶寬。在54 nm調諧範圍內(nei) ，3db帶寬> 4.1 GHz，而在1555 nm調諧範圍內(nei) ，Max帶寬達到7.05 GHz。
具有相同VCSEL的直接調製10Gbit /s數據傳(chuan) 輸在其他地方顯示。據我們(men) 所知，這是任何大於(yu) 7 GHz小信號調製帶寬的電泵VCSEL的寬調諧範圍
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