本文介紹在位移台技術文檔和使用中都會(hui) 使用的術語，並解釋其含義(yi) 。以便於(yu) 讀者更好的理解相關(guan) 文章對位移台的表述。
位移台術語
傳(chuan) 感器分辨率 Sensor resolution
術語傳(chuan) 感器分辨率表示位置傳(chuan) 感器可檢測的最小量。該值是位移台分辨率的下限。
傳(chuan) 感器分辨率也稱為(wei) 傳(chuan) 感器靈敏度。
傳(chuan) 感器精度 Sensor accuracy
位置傳(chuan) 感器的精度表示相對於(yu) 已校準、可計量溯源的標準的絕對偏差。傳(chuan) 感器精度不一定與(yu) 傳(chuan) 感器分辨率有關(guan) 。
傳(chuan) 感器不準確主要是由傳(chuan) 感器標尺的不完善和傳(chuan) 感器標尺相對於(yu) 運動軸的對準誤差引起的。
傳(chuan) 感器精度誤差在很大程度上是重複性的，可以通過線性校準查找表（LUT）進行補償(chang) 。
載物台分辨率 Stage resolution
載物台分辨率定義(yi) 為(wei) 壓電定位載物台的最小受控機械位移。由於(yu) 我們(men) 的壓電平台在大多數情況下都使用超聲波壓電技術與(yu) 專(zhuan) 用驅動器相結合，因此術語分辨率始終是指平台的閉環分辨率。因此，分辨率受傳(chuan) 感器分辨率、機械影響（摩擦、可塑性、接觸點非線性...）和位置控製性能的影響。該值是載物台重複性的下限。
載物台分辨率的其他術語表達是最小步長minimal step size或最小增量運動minimal incremental motion (MIM)。
載物台重複性 Stage repeatability
重複性定義(yi) 為(wei) 在相同條件下將載物台重複命令到一個(ge) 特定位置時所獲得的位置範圍。
單向可重複性（Unidirectional repeatability）：載物台總是從(cong) 同一個(ge) 先前定義(yi) 的點返回給定點的能力，。這個(ge) 值特指許多次移動到同一點的偏移量的標準差。
雙向可重複性（Bidirectional repeatability）：載物台從(cong) 前一個(ge) 隨機點返回給定點的能力。這個(ge) 值特指從(cong) 隨機方向運動到同一點的許多次移動的偏移量的標準差。
除非另有說明，否則網站上給出的值均表示雙向可重複性。
載物台精度 Stage accuracy
載物台精度與(yu) 傳(chuan) 感器精度直接相關(guan) 。由於(yu) 我們(men) 平台的直接驅動原理以及位置傳(chuan) 感器和安裝表麵之間的微小距離產(chan) 生微小誤差而帶來的。
準確度與(yu) 可重複性 Accuracy vs. repeatability
準確度是載物台與(yu) 實際（真實）值的接近程度。可重複性是衡量平台多次定位到相同目標值的能力。重要的是要了解準確度和可重複性是定位係統的兩(liang) 個(ge) 不同屬性。
在許多国产成人在线观看免费网站中，運動係統的可重複性比精度更重要。係統誤差可以計算和補償(chang) ，但重複性是所有補償(chang) 後達到的極限。
準確性也稱為(wei) 真實性。可重複性的其他術語是再現性（reproducibility ）或最大精度（- slightly confusing - precision）。
旋轉台的誤差運動 Error motion of a rotation stage
根據 ANSI/ASME B89.3.4 標準，旋轉台旋轉軸的誤差運動定義(yi) 為(wei) 完美工件表麵相對於(yu) 參考坐標軸的位置變化，作為(wei) 旋轉角度的函數，工件中心線與(yu) 旋轉軸重合。
換言之，旋轉台理想狀態具有一個(ge) 自由度，即圍繞z軸旋轉。然而，由於(yu) 不存在完美的旋轉台，其餘(yu) 五個(ge) 自由度中的任何運動都稱為(wei) 旋轉軸誤差運動。根據誤差方向，可以區分兩(liang) 個(ge) 徑向貢獻、一個(ge) 軸向貢獻和兩(liang) 個(ge) 傾(qing) 斜或擺動貢獻。此外，平台的誤差運動可以分為(wei) 同步和異步分量。平台的誤差運動通常被錯誤地稱為(wei) 平台偏斜（stage runout）。
線性載物台的誤差運動 Error motion of a linear stage
線性載物台的誤差運動是不期望的運動，作為(wei) 載物台位置的函數，在除運動方向之外的所有五個(ge) 自由度上。水平麵的誤差運動稱為(wei) 直線度誤差，垂直麵的誤差稱為(wei) 平麵度誤差。不同正交方向上的角誤差運動分量稱為(wei) 俯仰、滾動和偏航。
線性載物台誤差運動的另一個(ge) 術語是載物台移動誤差（stage guiding error）或行程誤差（ travel error）。
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