旋轉台的使用中，為(wei) 更精確確定相關(guan) 參數，需要定義(yi) 幾個(ge) 可測量的概念參量。本文介紹用於(yu) 描述旋轉台性能參數的相關(guan) 術語，以便讀者直觀理解對旋轉台的描述。
旋轉台術語
旋轉軸標準（Axes of rotation standard）
在構建高精度壓電平台和係統時，測量精度是驗證国产欧美在线是否符合客戶要求規格的關(guan) 鍵步驟。
在此我們(men) 討論術語和執行的各種情況，以便在向客戶交付係統之前確定壓電旋轉平台的旋轉軸誤差運動。
由定子和轉子組成的旋轉台理想狀態具有一個(ge) 自由度，即圍繞z軸旋轉。然而，由於(yu) 不存在完美的旋轉台，其餘(yu) 五個(ge) 自由度中的任何運動都稱為(wei) 旋轉軸誤差運動或簡稱誤差運動。
旋轉平台的誤差運動通常以位移指示器（電容傳(chuan) 感器）刻度表征，該指示器針對安裝在平台轉子上的研磨工件。一個(ge) 位移台的誤差運動完全由五個(ge) 誤差運動分量來表征，即：
徑向誤差運動 (x(θ), y(θ))：定義(yi) 為(wei) 在任意軸向位置“a”處測量的垂直於(yu) 旋轉軸的誤差運動。必須始終指定軸向位置，因為(wei) 轉子的傾(qing) 斜會(hui) 影響徑向誤差運動。
軸向誤差運動 (z(θ))：定義(yi) 為(wei) 與(yu) 旋轉軸共線的誤差運動。
傾(qing) 斜誤差運動 (α(θ), β(θ))：定義(yi) 為(wei) 轉子繞 x 軸和 y 軸的旋轉。該誤差運動可以從(cong) 在不同軸向位置“a”處進行的兩(liang) 個(ge) 徑向誤差運動測量得出.
同步與(yu) 異步誤差運動（Synchronous versus asynchronous error motion）
旋轉平台的總誤差運動由同步和異步部分組成：
同步誤差運動是總誤差運動從(cong) 一圈到另一圈重複的部分。它可以通過計算每個(ge) 測量的主軸角度 θ 在幾圈內(nei) 的平均誤差來獲得。在數學術語中，這被定義(yi) 為(wei) 由基頻的整數倍組成的誤差運動。
總誤差運動的其它部分是異步誤差運動。它由基頻的非整數倍組成。換句話說，總誤差運動中從(cong) 一圈到另一圈不重複的部分。它反映了測量過程中載物台誤差運動、環境幹擾、結構振動和噪聲的一些未知組合。
誤差運動值（Error motion value）
當繪製在極坐標圖上時，可以很容易地確定總體(ti) 、同步和異步誤差運動的誤差運動值。即作為(wei) 包圍相應誤差運動的兩(liang) 個(ge) 同心圓的半徑之差。最小二乘圓 (LSC) 中心是誤差運動評估的首選極坐標圖中心。
同步誤差運動值是通過減去具有公共LSC中心的同步數據的最小外接圓和最大內(nei) 接圓的半徑來確定的。反過來，異步誤差運動值是通過單獨查看每個(ge) 角位置從(cong) 異步數據的最大峰穀範圍獲得的。異步誤差的最大頻帶由上圖中的兩(liang) 個(ge) 箭頭表示。
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