可變形反射鏡(Deformable_Mirror)是自適應光學係統中的核心部件之一,變形鏡擔負著校正由內(nei) 、外因素引人的波前誤差的任務,並補償(chang) 由光路中各種因素引起的成像質量降低的問題,即校正器。按照驅動方式的不同,可變形反射鏡分為(wei) :(1)壓電式反射鏡;(2)電磁式反射鏡;(3)電致伸縮式反射鏡;(4)液壓式反射鏡。微電子機械係統(MEMS),是20世紀80年代迅速發展起來的一門綜合性新興(xing) 學科。微電子機械係統包括微能源、微驅動器、微傳(chuan) 感器、微控製器和微操作器等,集成於(yu) 一個(ge) 微小的空間,實現一種或多種設定的功能。MEMS變形鏡技術代表著Z為(wei) 先進的製造技術,利用MEMS技術製造的可變形反射鏡,是可變形反射鏡的發展支撐。
可變形反射鏡不僅(jin) 可作為(wei) 自適應光學係統的核心部件,在天文望遠鏡以及詳查相機上得到了国产成人在线观看免费网站,近幾年來還成功地在光束淨化、光束整形、激光腔內(nei) 像差校正以及醫學人眼像差的檢測與(yu) 校正等多方麵都得到了国产成人在线观看免费网站。