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橢偏儀

橢偏儀(yi) 是一種用於(yu) 探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量儀(yi) 器。 主要是利用線偏振光經樣品反射後轉變為(wei) 橢圓偏振光來獲得薄膜樣品的一些基本參數。該橢偏儀(yi) 由包含四種不同波長的光源，不存在厚度周期性問題，可適用於(yu) 透明膜、半透明膜及金屬膜等。透明膜可提供厚度可達1μm，1秒的采譜時間，測量精度可達0.001nm。此外該設備可用於(yu) 原位測量與(yu) ALD等設備聯用。